■大気圧マイクロホロープラズマ
電極構造をホロー形状にし、ホロー部で電子密度のプラズマが増加し、高密度のプラズマを生成します。 電極間距離を最適設計することにより、大気圧下でのプラズマの生成が可能になりました。放電ガスのブローによりプラズマの噴出を形成しています。
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「特 徴」 ●
小型、安価、取り扱い容易 ●
各種ガスが使用可能 ●
高い電子密度（１０15個/cm３） ●
大気圧下でプラズマ発生 ●
微小スポットプラズマ 「構 成」 ●
大気圧μホロープラズマヘッド ●
制御電源 ●
プラズマガス（ご準備ください） ●
レギュレーター（ご準備ください） 「応用例」 ●
金属・樹脂等の表面改質 ●
（親水性の向上） ●
表面クリーニング ●
（電子部品の表面付着物除去等） ●
金属・樹脂改質加工
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大気圧マイクロホロープラズマ
仕 様 一 覧
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プラズマ発生方式 マイクロホロー プラズマガス種 Ａr,N２,Ｏ２，大気 ガス流量 ~１ℓ/min サイズ ヘッド 電源 Φ18mmx47mm 19”ラックマウント 動作圧力 大気圧 ユーティリティ AC100V 動作条件 20mA、7kV ガス接続口径 ６ｍｍクイックコネクター |
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