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独自開発品

[1] ラジカルモニター及びその応用技術


本製品は名古屋大学 堀勝教授の研究成果に基づき開発されたプラズマ中のラジカルの絶対密度を計測するラジカルモニターリング装置です。電荷を持たないラジカルは従来非常に複雑で大型の装置を用いての測定手段しかありませんでしたが、本ラジカルモニターリング装置は計測対象プラズマに影響を与えない超小型で且つ光学的手法を用いており、プロセスに重要なラジカルを計測しプロセスの安定化を行うことができます。このモニターリングシステムを組み込んだプラズマプロセス装置も提案します。最近、プラズマ以外のラジカル発生源からの原子状ラジカル(H,N,O等)絶対密度の計測においても注目されています。


        ラジカルモニター            ラジカル応用プラズマ装置



     カーボンナノウォール
 








[2]マイクロホローカソード・大気圧プラズマ技術の応用

     











   

     大気圧プラズマ技術
   

                                    










 

 大気圧プラズマの大出力化技術      プラズマの長尺化技術


   液中大気圧プラズマ


 大気圧プラズマの医療応用展開ロードマップ









特注品 


 
     
MBE装置aMVDaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaあああああああMOCVD装置  

 
  












                レーザーアブレーション装置ああああああ
    
    

  ICPエッチング装置
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